[实用新型]前驱体源控制系统

摘要

本实用新型属于催化材料合成的技术领域，特别涉及一种前驱体源控制系统，包括反应腔体、与反应腔体连通的第一管路、与第一管路连通的第二管路以及与第二管路连通的固态源瓶，第一管路与第二管路连接处设有第一气动阀；固态源瓶与第一管路之间还设有用于将第一管路中的气体输送至固态源瓶内且用以辅助固态反应物进入第二管路的第三管路，第三管路与第一管路连接处设有第二气动阀。本实用新型通过设置的前驱体源控制系统，使得固态反应物易进入到反应腔体内反应，避免了固态反应物堵塞第一管路与第二管路连接处设置的第一气动阀以及避免前驱体源之间的交叉污染，并保证了固态前驱体源参与反应，以及保证前驱体源反应充分。

主权项

一种前驱体源控制系统，其特征在于，包括：反应腔体、与所述反应腔体连通且用于输送气态反应物的第一管路、与所述第一管路连通且用于输送固态反应物的第二管路以及与所述第二管路连通且用于存放固态反应物的固态源瓶，所述第一管路与所述第二管路连接处设有用于控制所述固态反应物进入所述反应腔体内的第一气动阀；所述固态源瓶与所述第一管路之间还设有用于将所述第一管路中的气体输送至固态源瓶内且用以辅助所述固态反应物进入所述第二管路的第三管路，所述第三管路与所述第一管路连接处设有用于控制所述第一管路中的气体进入所述固态源瓶内的第二气动阀。