[实用新型]一种卷对卷柔性共蒸镀设备有效
| 申请号： | 201621466232.7 | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN206273839U | 公开（公告）日： | 2017-06-23 |
| 发明（设计）人： | 任宇航;詹华昭;陈辉;罗明新 | 申请（专利权）人： | 浙江尚越新能源开发有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 杭州华知专利事务所33235 | 代理人： | 龙湖浩 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种蒸镀设备，尤其涉及一种卷对卷柔性共蒸镀设备，包括卷绕系统和蒸镀系统，卷绕系统包括蒸镀基台以及设置在蒸镀基台两端的放卷辊和收卷辊，蒸镀系统包括蒸镀腔、设置在蒸镀腔内的坩埚、放置在坩埚内的蒸镀源以及设置在坩埚上方的加热源，蒸镀系统还包括控制器、温度传感器、操作平台以及水平设置在坩埚上方的挡板组件，挡板组件包括挡板以及水平移动机构，水平移动机构水平连接挡板，水平移动机构、温度传感器分别电连接控制器，控制器电连接操作平台。本实用新型避免了不能到达基体的源原子间形成粉状固体颗粒，以及能到达的源原子化合形成过低附着力的薄膜，以片状脱落，达到清洁生产，减小生产成本等目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 共蒸镀 设备 | ||
【主权项】：
一种卷对卷柔性共蒸镀设备，包括卷绕系统和蒸镀系统，所述卷绕系统包括蒸镀基台以及设置在蒸镀基台两端的放卷辊和收卷辊，在放卷辊和收卷辊之间安装待蒸镀的基体，所述蒸镀系统包括蒸镀腔、设置在蒸镀腔内的坩埚、放置在坩埚内的蒸镀源以及设置在坩埚上方的加热源，其特征在于：所述蒸镀系统还包括控制器、温度传感器、操作平台以及水平设置在坩埚上方的挡板组件，所述挡板组件包括挡板以及水平移动机构，所述水平移动机构水平连接挡板，水平移动机构、温度传感器、加热源分别电连接控制器，所述控制器电连接操作平台。
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