[实用新型]一种全吸附式晶片固定装置有效

专利信息
申请号: 201621472905.X 申请日: 2016-12-30
公开(公告)号: CN206312882U 公开(公告)日: 2017-07-07
发明(设计)人: 赖胜雄 申请(专利权)人: 郑州晶润光电技术有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 郑州联科专利事务所(普通合伙)41104 代理人: 刘建芳
地址: 451162 河南省郑州市*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型公开了一种全吸附式晶片固定装置,包括真空吸附平台,所述真空吸附平台的吸附面上铺设有安装板,安装板的与所述吸附面相接触的一侧面为真空连接面,真空连接面为光滑平面,安装板的真空连接面与所述吸附面形成真空吸附连接,安装板上与真空连接面相对的另一侧面为晶片固定面,晶片固定面上涂覆有粘性层,粘性层上排布设有于多个用于放置晶片的晶片安装位,晶片在对应的晶片安装位处与粘性层粘接连接。本实用新型的优点在于可以有效的完成晶片的吸附固定,为一次性加工多片晶片提供基础,防止对晶片加工造成不良损伤,并且有效减少上下料的时间,大大提高生产效率,保证生产的稳定。
搜索关键词: 一种 吸附 晶片 固定 装置
【主权项】:
一种全吸附式晶片固定装置,包括真空吸附平台,其特征在于:所述真空吸附平台的吸附面上铺设有安装板,安装板的与所述吸附面相接触的一侧面为真空连接面,真空连接面为光滑平面,安装板的真空连接面与所述吸附面形成真空吸附连接,安装板上与真空连接面相对的另一侧面为晶片固定面,晶片固定面上涂覆有粘性层,粘性层上排布设有于多个用于放置晶片的晶片安装位,晶片在对应的晶片安装位处与粘性层粘接连接。
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