[实用新型]门式三坐标测量仪

摘要

本实用新型公开一种门式三坐标测量仪，包括载物平台、主动活动臂、从动活动臂、钢带标尺光栅、光栅读数头和水平桥；所述光栅读数头进一步包括左侧板、右侧板、基板、光阑板、凸透镜和位于光阑板正下方的指示光栅，所述基板两端分别与左侧板、右侧板各自上端固定，所述指示光栅与左侧板、右侧板各自下端连接，所述光阑板位于基板和指示光栅之间，所述指示光栅上具有平行设置的第一线纹条形区和第二线纹条形区；所述光栅读数头安装于X轴滑块上，所述钢带标尺光栅安装于水平桥表面，所述光栅读数头的指示光栅与钢带标尺光栅间隙配合。本实用新型门式三坐标测量仪既有效消除往复测量误差和机械配合误差，也提高了精度、可靠性高。

主权项

一种门式三坐标测量仪，其特征在于：包括：载物平台（1）、主动活动臂（2）、从动活动臂（3）、钢带标尺光栅（10）、光栅读数头（20）和水平桥（4），所述主动活动臂（2）、从动活动臂（3）分别设置于载物平台（1）两侧，所述主动活动臂（2）、从动活动臂（3）各自的上端之间固定有所述水平桥（4），此水平桥（4）位于载物平台（1）正上方，一可沿水平方向滑动的X轴滑块（5）安装于所述水平桥（4）上，所述X轴滑块（5）滑动连接有可沿垂直方向滑动的Z轴移动机构（6）；所述光栅读数头（20）进一步包括左侧板（28）、右侧板（29）、基板（21）、光阑板（22）、凸透镜（23）和位于光阑板（22）正下方的指示光栅（24），所述基板（21）两端分别与左侧板（28）、右侧板（31）各自上端固定，所述指示光栅（24）与左侧板（28）、右侧板（31）各自下端连接，所述光阑板（22）位于基板（21）和指示光栅（24）之间，所述指示光栅（24）上具有平行设置的第一线纹条形区（241）和第二线纹条形区（242）；所述基板（21）下表面安装有红外光发光器（25），所述光阑板（22）上开有通孔（26），所述凸透镜（23）位于红外光发光器（25）与通孔（26）之间，所述光阑板（22）与凸透镜（23）相背的表面安装有光电感应器（27），所述光电感应器（27）设置于通孔（26）的周边，所述光阑板（22）位于凸透镜（23）的焦距内；所述光栅读数头（20）安装于X轴滑块（5）上，所述钢带标尺光栅（10）安装于水平桥（4）表面，所述光栅读数头（20）的指示光栅（24）与钢带标尺光栅（10）间隙配合；所述光栅读数头（20）随X轴滑块（5）移动，并通过位于光栅读数头（20）内部的光电感应器（27）扫描所述钢带标尺光栅（10）上的增量光栅（101）获得位移量，所述增量光栅（101）中穿插有若干个绝对参考点（102），所述第一线纹条形区（241）和第二线纹条形区（242）中均穿插有若干个零位参考点（30）。