[实用新型]三坐标测量机

摘要

本实用新型公开一种三坐标测量机，包括载物平台、主动活动臂、从动活动臂、钢带标尺光栅、光栅读数头和水平桥；所述光栅读数头进一步包括左侧板、右侧板、基板、光阑板、左凸透镜、右凸透镜和位于光阑板正下方的指示光栅，所述基板两端分别与左侧板、右侧板各自上端固定，所述指示光栅与左侧板、右侧板各自下端连接，所述光阑板位于基板和指示光栅之间；所述光栅读数头随X轴滑块移动，并通过位于光栅读数头内部的左光电感应器、右光电感应器扫描所述钢带标尺光栅上的增量光栅获得位移量，所述增量光栅中穿插有若干个绝对参考点。本实用新型三坐标测量机既有效消除往复测量误差和机械配合误差，也提高了精度、可靠性高和使用寿命。

主权项

一种三坐标测量机，其特征在于：包括：载物平台（1）、主动活动臂（2）、从动活动臂（3）、钢带标尺光栅（10）、光栅读数头（20）和水平桥（4），所述主动活动臂（2）、从动活动臂（3）分别设置于载物平台（1）两侧，所述主动活动臂（2）、从动活动臂（3）各自的上端之间固定有所述水平桥（4），此水平桥（4）位于载物平台（1）正上方，一可沿水平方向滑动的X轴滑块（5）安装于所述水平桥（4）上，所述X轴滑块（5）滑动连接有可沿垂直方向滑动的Z轴移动机构（6）；所述光栅读数头（20）进一步包括左侧板（30）、右侧板（31）、基板（21）、光阑板（24）、左凸透镜（25）、右凸透镜（26）和位于光阑板（24）正下方的指示光栅（27），所述基板（21）两端分别与左侧板（30）、右侧板（31）各自上端固定，所述指示光栅（27）与左侧板（30）、右侧板（31）各自下端连接，所述光阑板（24）位于基板（21）和指示光栅（27）之间，所述指示光栅（27）上具有平行设置的第一线纹条形区（271）和第二线纹条形区（272）；所述基板（21）下表面安装有左红外光发光器（22）、右红外光发光器（23），所述光阑板（24）上开有左通孔（241）、右通孔（242），所述左凸透镜（25）位于左红外光发光器（22）与左通孔（241）之间，所述右凸透镜（26）位于右红外光发光器（23）与右通孔（242）之间，所述光阑板（24）与左凸透镜（25）和右凸透镜（26）相背的表面安装有左光电感应器（28）、右光电感应器（29），所述左光电感应器（28）、右光电感应器（29）分别设置于左通孔（241）、右通孔（242）各自的周边；所述光栅读数头（20）安装于X轴滑块（5）上，所述钢带标尺光栅（10）安装于水平桥（4）表面，所述光栅读数头（20）的指示光栅（27）与钢带标尺光栅（10）间隙配合；所述光栅读数头（20）随X轴滑块（5）移动，并通过位于光栅读数头（20）内部的左光电感应器（28）、右光电感应器（29）扫描所述钢带标尺光栅（10）上的增量光栅（101）获得位移量，所述增量光栅（101）中穿插有若干个绝对参考点（102）。