[实用新型]一种高纯度多晶硅铸锭坩埚有效
申请号: | 201621483257.8 | 申请日: | 2016-12-30 |
公开(公告)号: | CN206477057U | 公开(公告)日: | 2017-09-08 |
发明(设计)人: | 张冠纶;曹韵国;常青;孙纤 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(成都)有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司51230 | 代理人: | 李春芳 |
地址: | 610225 四川省成都市双流*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高纯度多晶硅铸锭坩埚,涉及坩埚技术领域,本实用新型包括用于保护石英坩埚本体的组合式护板机构,石英坩埚本体放置在组合式护板机构内部,组合式护板机构上方设置有护盖,护盖上设置有惰性气体入口和惰性气体出口,石英坩埚本体内壁设置有碳酸钡涂层;本实用新型具有结构简单,解决现有多晶硅铸锭过程中碳氧含量高,阻止了硅溶液与坩埚发生反应,改善石英坩埚的使用寿命,还能增加石英刚坩埚的强度,减少高温软化现象,保证了硅晶体的电学性能,还有利于脱模,从而降低生产成本优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 纯度 多晶 铸锭 坩埚 | ||
【主权项】:
一种高纯度多晶硅铸锭坩埚,包括石英坩埚本体(1),其特征在于,还包括用于保护石英坩埚本体(1)的组合式护板机构(7),石英坩埚本体(1)放置在组合式护板机构(7)内部,组合式护板机构(7)上方设置有护盖(3),护盖(3)上设置有惰性气体入口(3‑3)和惰性气体出口(3‑2),石英坩埚本体(1)内壁设置有碳酸钡涂层(2)。
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