[实用新型]一种多晶硅制造装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅制造装置，包括基台、外炉和内炉，外炉的顶部内设置有搅拌叶，内炉的内部设置有石墨棒，石墨棒的外侧设置有硅芯棒，石墨棒的底部设置有石墨加热器。硅芯棒的底部设置有电极，电极的外侧设置有喷气口，喷气口的底部设置有基台，基台的两端设置有出气口，基台的底部设置有气体分流器，气体分流器的底部设置有原料气体供给源，基台的一侧设置有加热器。本实用新型通过基台上设置有内炉和外炉，可减少炉内温度流失的速度，外炉的顶部内设置有搅拌叶，引导外炉内的热空气，外炉内的热空气温度差作用在内炉壁上，可稍微影响内炉内原料气体的流速，减弱原料气体的雾化程度，有利于多晶体的析出。

主权项

一种多晶硅制造装置，包括基台(1)、外炉(2)和内炉(3)，其特征在于，所述外炉(2)的顶部内设置有搅拌叶(4)，所述搅拌叶(4)的底部设置有内炉壁(16)，所述内炉壁(16)的内侧设置有内炉(3)，所述内炉(3)的内部设置有石墨棒(5)，所述石墨棒(5)的外侧设置有硅芯棒(6)，所述石墨棒(5)的底部设置有石墨加热器(15)，所述硅芯棒(6)的底部设置有电极(7)，所述电极(7)的外侧设置有喷气口(8)，所述喷气口(8)的底部设置有基台(1)，所述基台(1)的两端设置有出气口(9)，所述基台(1)的底部设置有气体分流器(10)，所述气体分流器(10)的底部设置有原料气体供给源(11)，所述基台(1)的一侧设置有加热器(12)。