[实用新型]一种防微振平台

摘要

本实用新型涉及防微振建筑领域，公开了一种防微振平台，该防微振平台包括相对设置的楼板及过滤层，且楼板及过滤层之间设置有密封墙体，密封墙体分别与楼板及过滤层连接并围成加工硅集成电路芯片的生产层，其中，楼板上设置有多个锥形孔洞；还包括用于支撑楼板的多个立柱，且多个立柱之间形成回风通道。上述实施例中，新鲜空气经过过滤层的净化后进入平台内部空间，并通过与过滤层相对设置的楼板上的锥形孔洞流出，实现了空气自上而下的垂直层流，并且，楼板上的锥形孔洞具有梯形截面，减小了空气经过孔洞时受到的阻力，提高了防微振平台内空气的流通。

主权项

一种防微振平台，其特征在于，包括相对设置的楼板及过滤层，且所述楼板及所述过滤层之间设置有密封墙体，所述密封墙体分别与所述楼板及所述过滤层连接并围成加工硅集成电路芯片的生产层，其中，所述楼板上设置有多个锥形孔洞；还包括用于支撑所述楼板的多个立柱，且所述多个立柱之间形成回风通道。