[外观设计]半导体热处理用加热器有效
申请号: | 201630067515.3 | 申请日: | 2016-03-10 |
公开(公告)号: | CN303936354S | 公开(公告)日: | 2016-11-23 |
发明(设计)人: | 村田等;和田优一;八幡橘;山口天和;西堂周平 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立国际电气 |
主分类号: | 23-03 | 分类号: | 23-03 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 陈伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 1.本外观设计产品的名称为半导体热处理用加热器。2.本外观设计产品的用途是在将多片基板分级地排列来进行处理的基板处理装置中使用的加热器。3.本外观设计产品的设计要点在于产品的形状。4.指定立体图为最能表明设计要点的视图。5.本外观设计产品的外部管材由透明材料构成。 | ||
搜索关键词: | 半导体 热处理 加热器 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社日立国际电气,未经株式会社日立国际电气许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201630067515.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种多级搅拌式混凝土搅拌装置
- 下一篇:一种城区配网屏柜防凝露装置
- 同类专利
- 专利分类