[外观设计]石英样式晶圆有效
| 申请号： | 201630281380.0 | 申请日： | 2016-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN303933656S | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 冈田裕巳;森田慎也;相泽聪;南政克;奥田和幸;山田正行 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立国际电气 |
| 主分类号： | 15-99 | 分类号： | 15-99 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 丁文蕴;许凯 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 1．本外观设计产品的名称：石英样式晶圆。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于在半导体制造装置中，承载在对作为处理对象的半导体基板（晶圆）进行保持的基板保持具（又叫做晶圆保持具或船具）上，在进行成膜处理时使用的适配器。3．本外观设计产品的设计要点：本外观设计产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：A部立体图。5．省略视图：左视图与右视图对称省略左视图，俯视图与仰视图对称省略俯视图。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 样式 | ||
【主权项】：
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