[发明专利]测量方法、测量装置、测量程序以及记录了测量程序的计算机可读取记录介质

摘要

本发明的测量方法对投影到基准面的网格进行拍摄，调节光学系统使得对投影到所述基准面的网格进行拍摄后的图像的、由x方向Mx个像素、y方向Ny个像素构成的长方形内(Mx、Ny为2以上的整数)，将投影的网格的相位2mπ(m为整数)进行Mx×Ny(＝M)等分，对投影到在所述基准面上载置的物体的网格图样进行拍摄，在对投影到所述物体上的网格图样进行拍摄后的图像的、由x方向Mx个像素、y方向Ny个像素构成的Mx×Ny个像素的长方形区域中，求取对2mπ进行Mx×Ny等分后的亮度值，使用所述亮度值求取相位，对在所述基准面上载置的物体上投影的网格图样进行拍摄，针对对在所述物体上投影的网格图样进行拍摄后的图像的每一个像素移动而求取所述相位，并基于该相位求取物体面的位置。

主权项

一种测量方法，其特征在于，在调节了光学系统而使得在从对投影到物体面的网格像或所述物体面上描画的网格进行拍摄后的摄影图像中选择出的由x方向Mx个像素、y方向Ny个像素构成的长方形内，将所述投影的网格像的网格或描画的网格的相位2mπ进行Mx×Ny等分的状态下，输入摄影图像，其中，Mx、Ny为2以上的整数，m为整数,从所述摄影图像中提取所述网格像或所述网格的图像的、由x方向Mx个像素、y方向Ny个像素构成的长方形区域，并基于所述长方形区域的像素的亮度来求取相位，其中，Mx、Ny为2以上的整数。