[发明专利]用于切割蓝宝石的方法及其装置

摘要

一种用于切割蓝宝石的方法，蓝宝石包括蓝宝石本体和形成于蓝宝石本体上的涂层，方法包括：第一CO₂激光光束通过CO₂聚焦组件聚焦于涂层上，以去除沿第一路径延伸的预定厚度的涂层；在去除涂层的同时去除在去除涂层过程中产生的灰尘和碎屑；超快激光光束通过光路整形组件聚焦于蓝宝石本体上，以形成多个沿第二路径分布的贯穿蓝宝石的改质通道；第二CO₂激光光束通过振镜聚焦组件扫描蓝宝石本体，第二CO₂激光光束通过振镜聚焦组件扫描蓝宝石本体的路径重合或偏离于第二路径，使蓝宝石沿着改质通道裂开。

主权项

一种用于切割蓝宝石的方法，所述蓝宝石包括蓝宝石本体和形成于所述蓝宝石本体上的涂层，其特征在于，所述方法包括：在所述涂层远离所述蓝宝石本体的一侧贴附保护膜；第一CO₂激光光束通过CO₂聚焦组件聚焦于所述涂层上，以去除沿第一路径延伸的预定厚度的所述涂层；在去除所述涂层的同时去除在去除所述涂层过程中产生的灰尘和碎屑；超快激光光束通过光路整形组件聚焦于所述蓝宝石本体上，以形成多个沿第二路径分布的贯穿所述蓝宝石的改质通道；其中，所述第二路径与所述第一路径重合；以及第二CO₂激光光束通过振镜聚焦组件扫描所述蓝宝石本体，所述第二CO₂激光光束通过所述振镜聚焦组件扫描所述蓝宝石本体的路径重合或偏离于所述第二路径，使所述蓝宝石沿着所述改质通道裂开。