[发明专利]光学编码器用栅格板以及光学编码器用栅格板的制造方法有效
| 申请号： | 201680001599.8 | 申请日： | 2016-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN106461424B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 藤井武夫 | 申请（专利权）人： | 美路科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/347 | 分类号： | G01D5/347 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 毛立群;杨楷 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种剥落性强、镀敷的均镀良好，并且能够实现高SN比的用于光学编码器的光学编码器用栅格板以及光学编码器用栅格板的制造方法，所述光学编码器使用可视光或者近红外光作为照射光，以30度～75度的角度对反射面照射照射光，接受由反射面反射的反射光，由此检测物体的位移量或者位移方向，所述光学编码器用栅格板具有将一方的表面(21)作为反射面的基材(20)、和在表面(21)以预定的栅格宽度排列的栅格(30)，使用金属作为基材(20)，利用黑色镀敷层形成栅格(30)，使金属的表面(21)的平均粗糙度Ra为0.008μm～0.05μm的范围，使黑色镀敷层比3μm薄。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 编码 器用 栅格 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于光学编码器的光学编码器用栅格板，所述光学编码器使用可视光或者近红外光作为照射光，接受由反射面反射的反射光，由此检测物体的位移量或者位移方向，所述光学编码器用栅格板具有：将一方的表面作为所述反射面的基材；和在所述表面以预定的栅格宽度排列的栅格，使用金属作为所述基材，利用黑色镀敷层形成所述栅格，所述金属的所述表面的平均粗糙度Ra为0.008μm～0.05μm的范围，所述黑色镀敷层的厚度比3μm薄。
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