[发明专利]四角真空闸阀及具有其的半导体制造装置在审
| 申请号： | 201680001890.5 | 申请日： | 2016-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN107735607A | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 安熙俊;金凑泽 | 申请（专利权）人： | 福田株式会社 |
| 主分类号： | F16K3/02 | 分类号： | F16K3/02;F16K3/18;F16K51/02;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙)11641 | 代理人： | 李柱天,洪玉姬 |
| 地址： | 韩国京畿道龙仁市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及四角真空闸阀及具有其的半导体制作装置。本发明的四角真空闸阀包括闸框架，在相向的两侧面形成第一闸和第二闸；遮蔽板，用于遮蔽上述闸框架的上部；第一阀单元，能够通过形成于上述闸框架的下部一侧的第一开口向上述闸框架内部直线移动或者进行旋转，用于选择性地开闭上述第一闸；以及第二阀单元，能够通过在上述闸框架的下部另一侧与上述第一开口隔开配置的第二开口向上述闸框架的内部直线移动或进行旋转，用于选择性地开闭上述第二闸。 | ||
| 搜索关键词： | 四角 真空 闸阀 具有 半导体 制造 装置 | ||
【主权项】：
一种四角真空闸阀，其特征在于，包括：闸框架，在相向的两侧面形成第一闸和第二闸；遮蔽板，用于遮蔽上述闸框架的上部；第一阀单元，能够通过形成于上述闸框架的下部一侧的第一开口向上述闸框架内部直线移动或者进行旋转，用于选择性地开闭上述第一闸；以及第二阀单元，能够通过在上述闸框架的下部另一侧与上述第一开口隔开配置的第二开口向上述闸框架的内部直线移动或进行旋转，用于选择性地开闭上述第二闸。
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