[发明专利]铝溅镀靶材有效
| 申请号： | 201680002116.6 | 申请日： | 2016-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN106795624B | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 松村仁実 | 申请（专利权）人： | 株式会社钢臂功科研 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01L21/285 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本兵库县神户市*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有与现有的铝溅镀靶材相同程度的导电性且可减少损伤的发生的溅镀靶材。本发明的铝溅镀靶材包含0.005原子％～0.04原子％的Ni、及0.005原子％～0.06原子％的La，且剩余部分为Al及不可避免的杂质。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 铝溅 导电性 溅镀靶材 损伤 | ||
【主权项】：
1.一种铝溅镀靶材，其特征在于：包含0.01原子％～0.04原子％的Ni、及0.03原子％～0.06原子％的La，且剩余部分为Al及不可避免的杂质。
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