[发明专利]具有螺杆转子和槽的干式真空泵

摘要

本发明涉及具有螺杆转子和槽的干式真空泵，上述具有螺杆转子和槽的干式真空泵包括主动螺杆，设置有以主动轴为中心旋转的转子；从动螺杆，设置有以从动轴为中心旋转的转子，以与上述主动螺杆相啮合的方式旋转；壳体，内置有上述主动螺杆和从动螺杆；以及至少两个槽，设置于上述壳体的内周面，在上述主动螺杆从流体吸入部向流体排气部的方向依次设置有主动螺杆一级转子、主动螺杆二级转子、主动螺杆三级转子、主动螺杆四级转子、主动螺杆五级转子，在上述从动螺杆从流体吸入部向流体排气部的方向依次设置有第一槽、第二槽、第三槽、第四槽，从而具有可以提高泵的效率，并在同等动力条件下，可通过高旋转来实现高真空，同时可以节减动力的效果。

主权项

一种具有螺杆转子和槽的干式真空泵，包括：主动螺杆(10)，设置有以主动轴(11)为中心旋转的三个以上的转子；从动螺杆(20)，设置有以从动轴(21)为中心旋转的三个以上的转子，以与上述主动螺杆(10)相啮合的方式旋转；壳体(30)，内置有上述主动螺杆(10)和从动螺杆(20)；以及槽(40)，在上述壳体(30)的内周面横向设置于主动轴(11)与从动轴(21)之间，上述具有螺杆转子和槽的干式真空泵的特征在于，在上述主动螺杆(10)从流体吸入部(A)向流体排气部(B)的方向依次设置有主动螺杆一级转子(10a)、主动螺杆二级转子(10b)、主动螺杆三级转子(10c)、主动螺杆四级转子(10d)、主动螺杆五级转子(10e)，在上述从动螺杆(20)从流体吸入部(A)向流体排气部(B)的方向依次设置有从动螺杆一级转子(20a)、从动螺杆二级转子(20b)、从动螺杆三级转子(20c)、从动螺杆四级转子(20d)、从动螺杆五级转子(20e)，在设置有主动螺杆二级转子(10b)及从动螺杆二级转子(20b)的壳体(30)的内周面设置有第一槽(41)，在设置有主动螺杆三级转子(10c)及从动螺杆三级转子(20c)的壳体(30)的内周面设置有第二槽(42)，在设置有主动螺杆四级转子(10d)及从动螺杆四级转子(20d)的壳体(30)的内周面设置有第三槽(43)，在设置有主动螺杆五级转子(10e)及从动螺杆五级转子(20e)的壳体(30)的内周面设置有第四槽(44)。