[发明专利]曝光装置

摘要

本发明提供在对带状的工件实施曝光处理的情况下，无需复杂的工序就能够精度良好地实施曝光处理的曝光装置。曝光装置具备：工件输送机构(20)，其输送带状的工件(1)；曝光光源(30)，其产生曝光光；光掩模(40)，其具有在与工件(1)的宽度方向的端部(1a、1b)对置的位置配置的透射窗(42a～42c)；拍摄机构(60a～60c)，其拍摄透射窗(42a～42c)；以及位置调整机构(51、52)，其调整工件(1)与光掩模(40)的位置关系，所述曝光装置构成为：能够根据由拍摄机构(60a～60c)拍摄得到的、透射窗(42a～42c)的位置与从透射窗(42a～42c)识别到的工件(1)的端部(1a、1b)的位置之间的关系，调整工件(1)与光掩模(40)的位置关系，以使工件(1)与光掩模(40)的位置关系成为目标的位置关系。

主权项

1.一种曝光装置，其特征在于，所述曝光装置具备：工件输送机构，其输送作为曝光处理对象的带状的工件；曝光光源，其配设为与所述工件的一方的主面对置，且产生向所述工件照射的曝光光；光掩模，其配设于由所述工件输送机构输送的所述工件与所述曝光光源之间，所述光掩模具有在与所述工件的宽度方向上的端部对置的位置配置的使光透过的多个透射窗；拍摄机构，其配设为与所述工件的一方的主面或另一方的主面对置，且以所述工件的所述端部位于所述透射窗各自的区域内的形态拍摄所述光掩模的多个所述透射窗；以及位置调整机构，其相对地调整所述工件与所述光掩模的位置关系，所述曝光装置构成为：能够根据由所述拍摄机构拍摄得到的、从所述透射窗识别到的所述工件的所述端部的位置与同所述工件的所述端部对置的所述透射窗的缘部的位置之间的关系，通过所述位置调整机构来相对地调整所述工件与所述光掩模的位置关系，以使所述工件与所述光掩模的位置关系成为目标的位置关系。