[发明专利]三维测量装置

摘要

提供一种在利用相移法进行三维测量时能够在更短时间内实现更高精度的测量的三维测量装置。基板检查装置(1)具备：照明装置(4)，对印刷基板(2)照射条纹状的光图案；相机(5)，拍摄在印刷基板(2)上照射光图案的部分；控制装置(6)，基于所拍摄的图像数据进行三维测量。控制装置(6)基于在第一位置照射第一周期的第一光图案所获得的图像数据来计算第一高度测量值，并从该图像数据取得增益和偏移的值。另外，基于在斜移半个像素间距的第二位置照射第二周期的第二光图案所获得的图像数据并利用所述增益和偏移的值来计算第二高度测量值。并且，将由第一测量值和第二测量值确定的高度数据作为真实的数据来获取。

主权项

一种三维测量装置，其特征在于，具备：照射单元，所述照射单元能够对被测物体照射至少具有条纹状的光强度分布的光图案；相位控制单元，所述相位控制单元能够将从所述照射单元照射的所述光图案的相位变化为多种；摄像单元，所述摄像单元能够拍摄来自被照射所述光图案的所述被测物体的反射光；位移单元，所述位移单元使所述摄像单元与所述被测物体的位置关系发生相对位移；以及图像处理单元，所述图像处理单元能够基于由所述摄像单元拍摄的图像数据并通过相移法执行所述被测物体的三维测量，所述图像处理单元具备：第一测量值获取单元，所述第一测量值获取单元基于在第一位置以第一预定数种类的相位照射第一光图案而拍摄的所述第一预定数种类的图像数据，获取各像素所涉及的第一测量值；增益偏移获取单元，所述增益偏移获取单元基于在所述第一位置拍摄的所述第一预定数种类的图像数据，获取各像素所涉及的增益和/或偏移的值；第二测量值获取单元，所述第二测量值获取单元基于在从所述第一位置向预定方向错开半个像素间距的第二位置以比所述第一预定数种类少的第二预定数种类的相位照射第二光图案而拍摄的所述第二预定数种类的图像数据，并利用由所述增益偏移获取单元获取的增益和/或偏移的值，获取各像素所涉及的第二测量值；以及高度数据获取单元，所述高度数据获取单元能够基于所述第一测量值和所述第二测量值获取各像素所涉及的高度数据。