[发明专利]光学装置的光轴对准方法及装置以及光学装置的制造方法

摘要

本发明涉及一种光学装置的光轴对准方法等。首先拍摄透镜支撑装置以及支撑装置底座，取得激光照射前的外形信息(Q1)。接下来，检测从准直透镜射出的光束的位置信息(Q2)。接下来，照射激光而使其塑性变形，调整准直透镜的位置(Q3)。接下来，拍摄透镜支撑装置以及支撑装置底座，取得激光照射后的新的外形信息(Q4)。接下来，检测从准直透镜射出的光束行进的光路的新的位置信息(Q5)。如果光轴对准不在容许范围，则根据在激光照射的前后得到的外形信息以及/或者位置信息，变更激光照射条件(Q7)，重复进行基于激光照射的透镜位置调整(Q3)。通过这样的手法，能够高精度且短时间地实施光轴对准。

主权项

一种光学装置的光轴对准方法，该光学装置具备：透镜，具有光轴；保持部件，保持该透镜；以及底座部件，固定该保持部件，所述光学装置的光轴对准方法的特征在于，包括：检测从所述透镜射出的光束行进的光路的第1位置信息的步骤；拍摄所述保持部件以及所述底座部件的外形并作为第1外形信息而取得的步骤；以及根据所述第1位置信息以及所述第1外形信息，对所述保持部件以及所述底座部件中的至少一方照射激光而使其塑性变形，从而在与光轴垂直的面内调整所述透镜的位置，变更接下来照射激光时的照射位置或者照射量的步骤。