[发明专利]包括液态化学物质用的容器与化学物质供给源的系统以及包括液态化学物质用的容器与化学物质消耗装置的系统

摘要

本发明提供一种能够较佳地用作高纯度三氯氢硅那样的高纯度的液态化学物质用的容器的、尽可能防止液态化学物质的污染的液态化学物质用的容器。容器具备容器主体和附设于该容器主体的连接单元。连接单元包含化学物质流路及气体流路。在化学物质流路的伸出部配设有位于靠下游侧的位置的第一开闭阀部件和位于靠上游侧的位置的第二开闭阀部件。在气体流路上配设有位于靠下游侧的位置的第三开闭阀部件和位于靠上游侧的位置的第四开闭阀部件。连接单元还包含连结流路，该连结流路连结化学物质流路中的第一开闭阀部件与第二开闭阀部件之间的部位和气体流路中的第三开闭阀部件与第四开闭阀部件之间的部位。在连结流路上配设有第五开闭阀部件。

主权项

1.一种包括液态化学物质用的容器与化学物质供给源的系统，其特征在于，该液态化学物质用的容器具备容器主体和附设于该容器主体的连接单元，该化学物质供给源附设有连接适配器，该连接单元包含：化学物质流路，其具有浸渍于该容器主体内的化学物质的浸渍部和自该容器主体伸出的伸出部；以及气体流路，其自该气体流路与该容器主体内连通的一端伸出，在该化学物质流路的该伸出部配设有第一开闭阀部件和第二开闭阀部件，该第一开闭阀部件在朝向该容器主体内填充化学物质的化学物质填充方向看时位于靠下游侧的位置，该第二开闭阀部件在朝该化学物质填充方向看时位于靠上游侧的位置，在该气体流路上配设有第三开闭阀部件和第四开闭阀部件，该第三开闭阀部件在朝气体向该容器主体流入的气体流入方向看时位于靠下游侧的位置，该第四开闭阀部件在朝该气体流入方向看时位于靠上游侧的位置，该连接单元还包含：连结流路，该连结流路连结该化学物质流路中的该第一开闭阀部件与该第二开闭阀部件之间的部位和该气体流路中的该第三开闭阀部件与该第四开闭阀部件之间的部位，在该连结流路上配设有第五开闭阀部件，该连接适配器包含：化学物质连接流路，其一端与该化学物质供给源连接，另一端与该化学物质流路的伸出端连接；气体连接流路，其一端经由除害部件与大气连通，另一端与该气体流路的伸出端连接；第一气体供给流路，其一端与该化学物质连接流路连接，另一端与气体供给源连接；以及第二气体供给流路，其一端与该气体连接流路连接，另一端与该气体供给源连接，在该化学物质连接流路上配设有第六开闭阀部件和第七开闭阀部件，该第六开闭阀部件在向朝向该容器主体内的方向看时位于比该第一气体供给流路的该一端靠下游侧的位置，该第七开闭阀部件在向朝向该容器主体内的方向看时位于比该第一气体供给流路的该一端靠上游侧的位置，在该气体连接流路上配设有第八开闭阀部件和第九开闭阀部件，该第八开闭阀部件在向朝向该容器主体内的方向看时位于比该第二气体供给流路的该一端靠下游侧的位置，该第九开闭阀部件在向朝向该容器主体内的方向看时位于比该第二气体供给流路的该一端靠上游侧的位置，在该第一气体供给流路上配设有第十开闭阀部件，在该第二气体供给流路上配设有第十一开闭阀部件。