[发明专利]用于静电卡盘表面的径向向外的垫设计在审
| 申请号： | 201680004654.9 | 申请日： | 2016-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN107208261A | 公开（公告）日： | 2017-09-26 |
| 发明（设计）人： | 戈文达·瑞泽;罗伯特·T·海拉哈拉 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;H02N13/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国,赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 于此披露静电卡盘组件和具有所述静电卡盘组件的处理腔室。在一个实施方式中，提供一种静电卡盘组件，静电卡盘组件包括具有外边缘的主体，外边缘连接前侧表面和背侧表面。主体具有设置在主体中的夹持电极。晶片间隔掩模形成在主体的前侧表面上。晶片间隔掩模具有多个细长特征结构。细长特征结构具有从中心到外边缘径向对齐的长轴。晶片间隔掩模具有限定在细长特征结构之间的多个径向对齐的气体通道。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 静电 卡盘 表面 径向 向外 设计 | ||
【主权项】：
一种静电卡盘组件，包括：主体，所述主体具有设置在所述主体中的多个夹持电极，所述主体具有连接前侧表面和背侧表面的外边缘；和晶片间隔掩模，所述晶片间隔掩模形成于所述前侧表面上，所述晶片间隔掩模具有多个细长特征结构，所述细长特征结构具有从中心到所述外边缘径向对齐的多个长轴，所述晶片间隔掩模具有限定在所述细长特征结构之间的多个径向对齐的气体通道。
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