[发明专利]用于在增材制造中表征电子束的方法和装置有效
| 申请号： | 201680006732.9 | 申请日： | 2016-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN107660179B | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | T.洛克 | 申请（专利权）人： | 阿卡姆股份公司 |
| 主分类号： | B29C64/20 | 分类号： | B29C64/20;B29C64/153;B29C64/386;B22F3/105;B23K15/00;B23K15/02;B28B1/00;B28B17/00;B33Y10/00;B33Y40/00;B33Y50/02;G01T1/29;H01J37/09;H01J37/2 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 胡莉莉;张涛 |
| 地址： | 瑞典默*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于检测从基板表面辐射出的X射线的装置，所述装置包括至少一个X射线检测器、解析器光栅以及调制器光栅，具有朝向所述X射线检测器的至少一个开口的所述解析器光栅被布置在所述X射线检测器前面。在所述解析器光栅与所述基板之间，所述调制器光栅被提供在与所述解析器光栅和所述基板相距为预定距离处，其中所述调制器光栅在至少第一方向上具有多个开口，其中利用所述调制器光栅和解析器光栅，对来自所述表面的所述x射线进行空间调制。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 表征 电子束 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于对电子束进行验证的方法，所述方法包括以下步骤：在至少一个X射线检测器前面，布置具有至少一个开口的有图案的孔径解析器，其中所述至少一个开口正朝向所述至少一个X射线检测器；在所述有图案的孔径解析器与基板之间，并且在与所述有图案的孔径解析器和所述基板相距为预定距离处，布置有图案的孔径调制器，其中所述有图案的孔径调制器在至少第一方向上具有多个开口；在所述基板上在至少第一方向上扫描电子束，用于生成要由所述至少一个X射线检测器接收的X射线；以及通过把所述X射线信号的由所述检测器所检测到的强度调制与相对应的参考数值进行比较，验证所述电子束的位置、尺寸和形状中的至少一个，其中如果所述所检测到的信号与所述参考数值的偏差小于预定数值，则所述电子束据称得到验证。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于阿卡姆股份公司，未经阿卡姆股份公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680006732.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
