[发明专利]多层纳米纤维化学机械抛光垫有效
| 申请号： | 201680007688.3 | 申请日： | 2016-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN107206570B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | R·D·托勒斯;M·C·奥里拉利;F·C·雷德克;R·巴贾杰 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/22 | 分类号： | B24B37/22;B24B37/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开大体涉及抛光制品，以及使用抛光制品的化学机械抛光基板的装置和方法。在一些实施方式中，诸如抛光垫的抛光制品包括多个层，其中一个或多个层(即，至少顶层)包括在抛光工艺期间被放置成接触基板的多个纳米纤维。在一个实施方式中，抛光制品包括具有小于约0.032英寸的厚度的层，以及所述层包括具有约10纳米至约200微米的直径的纤维。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 纳米 纤维 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
一种抛光制品，其包括：层，其由随机分布的纤维构成，所述随机分布的纤维具有约10纳米至约200微米的直径和约每平方厘米0.1克至约每平方厘米50克的密度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680007688.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种LED投光灯
- 下一篇：新型英语学习用台灯装置
