[发明专利]新型肟酯衍生物化合物、包含其的光聚合引发剂及光致抗蚀剂组合物

摘要

本发明涉及新型肟酯衍生物化合物、包含其的光聚合引发剂及光致抗蚀剂组合物，详细而言，根据本发明的肟酯衍生物化合物由于敏感度、耐热性、耐光性、耐化学性和耐显影性优异，因此即使以少量使用也能够提供对TFT‑LCD制造工序中的曝光和后烘工序等有效的光聚合引发剂和光致抗蚀剂组合物。

主权项

1.一种肟酯衍生物化合物，其由下述化学式2至4表示：化学式2化学式3化学式4所述化学式2至4中，R₁至R₅各自独立地为氢、卤素、C₁‑C₂₀烷基、C₆‑C₂₀芳基、C₁‑C₂₀烷氧基、C₆‑C₂₀芳基C₁‑C₂₀烷基、羟基C₁‑C₂₀烷基、羟基C₁‑C₂₀烷氧基C₁‑C₂₀烷基、C₃‑C₂₀环烷基或C₃‑C₂₀环烷基C₁‑C₂₀烷基；A为氢、卤素、C₁‑C₂₀烷基、C₆‑C₂₀芳基、C₆‑C₂₀芳基C₁‑C₂₀烷基、氨基、硝基、氰基或羟基；m为选自0至2中的整数；a和b为0或1的整数。