[发明专利]用于利用自谐振设备的等离子体点火的装置和方法有效
| 申请号： | 201680008826.X | 申请日： | 2016-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN107210178B | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | S.T.史密斯;S.R.沃尔瑟;C.吴 | 申请（专利权）人： | MKS仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;郑冀之 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了用于使等离子体腔室内的过程等离子体点火的方法和装置。一个或多个自谐振设备相对于等离子体腔室内的等离子体生成体积而定位在等离子体腔室内。等离子体生成体积由等离子体腔室限定。每一个自谐振设备生成点火等离子体。点火等离子体引起点火气体的部分电离。部分电离的点火气体允许通过向等离子体生成体积应用电场而使过程等离子体点火。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 利用 谐振 设备 等离子体 点火 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于使过程等离子体点火的方法，所述方法包括：使点火气体流到等离子体腔室中；使用至少一个自谐振设备在等离子体腔室内形成至少一个点火等离子体，所述至少一个点火等离子体引起点火气体的至少部分电离；以及通过向等离子体腔室感应地耦合功率而使等离子体腔室内的过程等离子体点火。
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