[发明专利]具有经减小聚焦误差灵敏度的光学度量

摘要

本文中呈现用于执行对聚焦误差具有经减小灵敏度的宽带光谱度量的方法及系统。通过将测量光点成像到检测器上以使得晶片表面上的与入射平面对准的方向定向成垂直于检测器表面上的波长色散方向来实现对聚焦位置误差的灵敏度的显著减小。聚焦误差灵敏度的此种减小在不危及测量准确度的情况下实现经减小聚焦准确度及可重复性要求、较快聚焦时间及经减小的对波长误差的灵敏度。在另一方面中，基于受测量目标的本质而调整在垂直于所述入射平面的方向上投影到晶片平面上的照射光场的尺寸以优化所得测量准确度及速度。

主权项

一种度量系统，其包括：照射源，其经配置以产生一定量的照射光；照射光学器件子系统，其经配置以在入射平面内以一或多个入射角将所述量的照射光从所述照射源引导到受测量样品的表面上的测量光点；检测器，其具有对入射光灵敏的平面二维表面，其中所述检测器经配置以产生指示所述样品对所述量的照射光的响应的多个输出信号；及收集光学器件子系统，其经配置以从所述样品的所述表面上的所述测量光点收集一定量的经收集光且将所述量的经收集光引导到所述检测器的所述表面，其中所述收集光学器件子系统将所述测量光点成像到所述检测器的所述表面上，使得晶片表面上的与所述入射平面对准的方向定向成垂直于所述检测器表面上的波长色散方向。