[发明专利]通过空间谐波的多重截断而优化计算效率有效
| 申请号： | 201680009657.1 | 申请日： | 2016-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN107209004B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 安德烈·韦尔德曼 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明呈现用于以经减少的计算工作量及存储器要求来求解复杂装置结构的测量模型的方法及系统。基于经截断空间谐波级数的电磁模拟算法的计算效率针对周期性目标得以改进，所述周期性目标展现一基本空间周期及一或多个逼近周期，所述一或多个逼近周期是所述基本空间周期的整数分数。根据展现多重周期性的目标的每一相异周期将空间谐波分类。为每一空间谐波群组选择一相异截断阶数。此方法产生最优的稀疏截断阶数取样图案，且确保仅选择对所述目标的逼近具有显著影响的谐波用于计算。采用这些技术的计量系统经配置以测量与不同半导体制作工艺相关联的工艺参数以及结构及材料特性。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 空间 谐波 多重 截断 优化 计算 效率 | ||
【主权项】：
1.一种测量系统，其包括：/n照明源，其经配置以将一定量的照明光提供到具有多重空间周期的周期性计量目标，所述多重空间周期包含沿所述周期性计量目标的第一方向的一基本空间周期及一或多个逼近空间周期，其中所述一或多个逼近空间周期中的每一者是所述基本空间周期的整数分数；/n检测器，其经配置以接收响应于所述一定量的照明光而从所述周期性计量目标收集的一定量的光且产生多个经测量信号；及/n一或多个计算系统，其经配置以：/n接收对所述周期性计量目标的所述多重空间周期的指示；/n根据所述周期性计量目标的所述多重空间周期中的每一者将与所述周期性计量目标相关联的多个空间谐波分类为多个不同群组，其中每一空间谐波群组具有不同谐波间隔；及/n选择与所述多个不同空间谐波群组中的每一者相关联的截断阶数。/n
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