[发明专利]双极性晶片电荷监测器系统及包含其的离子注入系统有效
| 申请号： | 201680010096.7 | 申请日： | 2016-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN107430974B | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 马文·法利;坂瀬高尾;约瑟夫·福利 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/304 | 分类号： | H01J37/304;H01J37/317;H01J37/32;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 刘新宇;寿宁 |
| 地址： | 美国马萨诸*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供用于在离子注入期间确定工件经历的累积电荷的设备及方法。在一方面，提供具有朗缪耳探针(126)的电荷监测器，其中正电荷整流器(136)和负电荷整流器(138)可操作地耦合至所述探针并且各自被配置成仅传输正电荷和负电荷；正电流积分器(140)可操作地耦合至所述正电荷整流器(136)，其中所述正电流积分器经由正临界电压(142)而偏压，并且其中所述正电流积分器被配置成至少部分基于所述正临界电压输出正剂量(144)；负电流积分器(150)可操作地耦合至所述负电荷整流器(138)，其中所述负电流积分器经由负临界电压(152)而偏压，并且其中所述负电流积分器被配置成至少部分基于所述负临界电压输出负剂量(154)；正电荷计数器(146)和负电荷计数器(156)被配置成各自接收来自所述正电流积分器和负电流积分器的输出，以便提供与各自正电荷和负电荷相关联的各自累积正电荷值(148)和累积负电荷值(158)。 | ||
| 搜索关键词： | 极性 晶片 电荷 监测器 系统 包含 离子 注入 | ||
【主权项】：
一种用于离子注入系统的电荷监测器，该电荷监测器包括：朗缪耳探针；正电荷整流器，其被可操作地耦合至所述朗缪耳探针并且被配置成仅传输正电荷；正电流积分器，其被可操作地耦合至所述正电荷整流器，其中所述正电流积分器经由正临界电压而偏压，并且其中所述正电流积分器被配置成至少部分基于所述正临界电压输出正剂量；正电荷计数器，其被配置成接收来自所述正电流积分器的输出并且提供与所述正电荷相关联的累积正电荷值；负电荷整流器，其被可操作地耦合至所述朗缪耳探针并且被配置成仅传输负电荷；负电流积分器，其被可操作地耦合至所述负电荷整流器，其中所述负电流积分器经由负临界电压而偏压，并且其中所述负电流积分器被配置成至少部分基于所述负临界电压输出负剂量；以及负电荷计数器，其被配置成接收来自所述负电流积分器的输出并且提供与所述负电荷相关联的累积负电荷值。
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