[发明专利]温度差测量装置有效
| 申请号： | 201680010289.2 | 申请日： | 2016-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN107250746B | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 中川慎也 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | G01K7/00 | 分类号： | G01K7/00;A61B5/01;G01K1/18 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 向勇;崔炳哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 温度差测量装置具备：顶面侧开口的有底筒状的封装部；MEMS器件，配置在封装的内底面上，且该MEMS器件具有一个以上的热电堆，所述热电堆对因经由封装的底部流入的热量而在器件内产生的温度差进行测量；以及热量增加单元，使从MEMS器件向封装的顶面侧流出的热量增加。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种温度差测量装置，其特征在于，具备：顶面侧开口的有底筒状的封装部；第一MEMS器件，配置在所述封装部的内底面上，且所述第一MEMS器件具有一个以上的热电堆，所述热电堆对因经由所述封装部的底部流入的热量而在所述第一MEMS器件内产生的温度差进行测量；以及热量增加单元，使从所述第一MEMS器件向所述顶面侧流出的热量增加。
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