[发明专利]用于IR及UV监测的小体积长路径长度多程气体池

摘要

本发明描述一种用于监测流体的多程池组合件，以及利用所述多程池组合件的流体处理系统及使用此多程池组合件来进行流体监测的相关联方法。所述多程池组合件通常用于例如监测气相沉积工艺反应物等流体处理操作中，所述气相沉积工艺反应物例如用于从羰基钨前驱物进行钨的气相沉积金属化的反应物。

主权项

一种用于监测流体的多程池组合件，其包括：弧形外接部件，其界定多程光学反射室，所述弧形外接部件包括沿其弧形范围的面向内的反射性表面，所述面向内的反射性表面使照在其上的光产生多程光学反射；光输入结构，其经配置以将来自光源的光引导到所述弧形外接部件的所述反射性表面上，使得所述光学反射室中产生光的所述多程光学反射；光输出结构，其经配置以将来自所述弧形外接部件的所述反射性表面的多程光引导出所述光学反射室以对所述多程光进行检测及处理；流体入口，其经配置以将流体引入到所述多程光学反射室，使得所述流体与所述多程光学反射室中的多程光相互作用；以及流体出口，其经配置以在与所述多程光学反射室中的多程光相互作用之后将流体从所述多程光学反射室排出。