[发明专利]玻璃基板的磨削方法有效
| 申请号： | 201680011055.X | 申请日： | 2016-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN107249818B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 片山裕贵 | 申请（专利权）人： | 日本电气硝子株式会社 |
| 主分类号： | B24B9/00 | 分类号： | B24B9/00;B24B9/08;C03B33/023;C03C19/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘影娜 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在通过使磨削工具(1)旋转而对圆盘状玻璃基板(2)的外周端部(2a)进行磨削时，使磨削工具(1)以沿着圆盘状玻璃基板(2)的厚度方向延伸的轴线(5)为旋转中心而旋转。由此，能够避免在磨削工具(1)对外周端部(2a)的磨削过程中发生该外周端部(2a)沿着厚度方向晃动这样的情况，能够防止圆盘状玻璃基板(2)的破损。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 磨削 方法 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板的磨削方法，其是通过使磨削工具旋转来对圆盘状玻璃基板的外周端部进行磨削的方法，其特征在于，使所述磨削工具以沿着所述圆盘状玻璃基板的厚度方向延伸的轴线为旋转中心而旋转。
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