[发明专利]具有高度/可选择性控制的光学表面的微型光学台器件有效
| 申请号： | 201680011152.9 | 申请日： | 2016-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN107250858B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | B·A·萨达尼;Y·M·萨布里;M·梅德哈特;B·莫塔达;M·纳吉;M·萨德克;Y·纳达;K·哈桑 | 申请（专利权）人： | 斯维尔系统 |
| 主分类号： | G02B6/136 | 分类号： | G02B6/136;G02B6/36;G01B9/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 酆迅;郑振 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种微型光学台器件通过以下工艺来制造，所述工艺提供对所述微型光学台器件的一种或者多种特性和/或所述微型光学台器件中的光学表面的一种或者多种特性的控制。所述工艺包括：蚀刻衬底以形成临时性结构和包括光学元件的永久性结构。所述临时性结构的形状和在所述临时性结构与永久性结构之间的间隙有助于控制所述微型光学台和/或所述微型光学台中的光学表面的特性。所述工艺进一步包括从所述微型光学台器件的光路去除所述临时性结构。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 高度 选择性 控制 光学 表面 微型 器件 | ||
【主权项】：
一种用于制造微型光学台器件的方法，所述方法包括：提供衬底；蚀刻所述衬底以形成临时性结构和包括至少两个光学元件的永久性结构；以及从所述微型光学台器件的光路去除所述临时性结构，所述光路包括所述至少两个光学元件；其中，所述临时性结构的形状和在所述临时性结构与所述永久性结构之间的相应间隙有助于控制所述微型光学台器件的第一特性。
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