[发明专利]基板处理装置

摘要

基板处理装置的确认部(67)具备检查管路(671)、导电率获取部(672)、判断部(673)。检查管路(671)具有在内周面上分别沿着长度方向延伸并且在周向上交替地配置的多个导电部(675)和多个绝缘部(676)。导电率获取部(672)获取两个导电部(675)之间的导电率。判断部(673)基于由导电率获取部(672)获取到的导电率，判断检查管路(671)内是否存在处理液(71)或者检查管路(671)内的处理液(71)的种类。确认部(67)能够在比较长的检查管路(671)的全长判断是否存在处理液(71)或者处理液(71)的种类。因此，能够提高确认是否存在处理液(71)或种类的精度。

主权项

一种基板处理装置，向基板供给处理液来进行处理，其中，该基板处理装置具备：基板保持部，保持基板；以及管路，处理液能够通过该管路，在该管路上设置有确认是否存在处理液或者处理液的种类的确认部，上述确认部具备：检查管路，该检查管路是上述管路的至少一部分，具有在内周面上沿着长度方向或周向交替地配置的多个导电部和多个绝缘部；导电率获取部，与上述多个导电部中的至少两个导电部电连接，获取上述至少两个导电部之间的导电率；以及判断部，基于由上述导电率获取部获取到的导电率，判断在上述检查管路内是否存在处理液或者上述检查管路内的处理液的种类。