[发明专利]气体供应装置有效
| 申请号： | 201680011772.2 | 申请日： | 2016-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN107250550B | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | D.P.曼森;P.诺思;M.李 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/70;F16K11/085 |
| 代理公司： | 72001 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 崔幼平;傅永霄 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 英国;GB |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 当真空泵在操作状态之间循环时，真空泵吹扫系统可能遭受工艺气体进入到吹扫供应构件中的回流。例如，在粗加工操作期间，真空泵的泵送室内的气体的压力可以增加到高于阈值压力，从而导致到该泵的无效吹扫供应。在最宽广意义上，本发明旨在提供一种较不容易出现已知系统的缺点的经改进的吹扫气体供应装置。本发明旨在通过提供如下结构来减少所泵送气体进入到吹扫供应装置中的回流或再循环：其中多级真空泵上的吹扫端口包括处于足够压力下的吹扫气体以抵抗回流，特别是当真空泵在其极限压力范围外操作时。我们已经发现，下文所述实施例并不一定需要止回阀来抵抗不需要的泵气体回流。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 供应 装置 | ||
【主权项】：
1.一种多级真空泵吹扫气体供应装置，其包括：/n气体入口，其与多个气体出口流体连通，所述多个气体出口用于将气体供应到多级真空泵的相应吹扫端口；以及/n流动控制器，其紧邻所述气体出口的上游布置，所述流动控制器包括用于接收气体的输入端、用于容纳处于给定压力下的气体的体积以及布置在所述体积与所述出口中的每一者之间的可变流动限制器，/n其中所述可变流动限制器可相对于所述体积移动，以有利于气体流动在第一流率与第二流率之间与所述出口中的每一所述出口成比例的连续变化，/n其中，所述可变流动限制器被布置成提供在第一流率与第二流率之间的连续流率范围。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于爱德华兹有限公司，未经爱德华兹有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680011772.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
