[发明专利]基于集成光子元件的传感器系统有效
| 申请号： | 201680012743.8 | 申请日： | 2016-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN107407635B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | X·苏;K·阿尔-赫姆雅利;K·吴;G·M·克雷多;H·荣;J·森多威斯基 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | G01N21/39 | 分类号： | G01N21/39;G01N21/552;G01N21/77 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 高见 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 实施例包括一种传感器，所述传感器包括：衬底管芯；光子环形谐振器(RR)，位于所述衬底管芯上；聚合物，位于所述RR上，对化学分析物具有亲和力；光子波导，位于所述衬底管芯上并耦合到所述RR；激光器，位于所述衬底管芯上并耦合到所述波导，用于以谐振波长发射利用所述RR进行操作的光能；以及光电检测器，位于所述衬底管芯上并耦合到所述波导，用于检测响应于所述聚合物耦合到所述分析物而发生的利用所述光能进行操作的所述RR的折射率(RI)变化。本文描述了其他实施例。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 集成 光子 元件 传感器 系统 | ||
【主权项】：
一种传感器，包括：衬底管芯；光子环形谐振器(RR)，位于所述衬底管芯上；聚合物，位于所述RR上，对化学分析物具有亲和力；光子波导，位于所述衬底管芯上并耦合到所述RR；激光器，位于所述衬底管芯上并耦合到所述波导，用于以谐振波长发射利用所述RR进行操作的光能；以及光电检测器，位于所述衬底管芯上并耦合到所述波导，用于检测所述RR的响应于所述聚合物耦合到所述分析物而发生的折射率(RI)变化。
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