[发明专利]热式流量传感器

摘要

热式流量传感器具备：第1温度传感器20，其对配管10的外壁面中的规定位置的温度进行检测；导热元件50，其以离开第1温度传感器20的状态被配置于配管的外壁面上，通过加热或者冷却配管10的外壁面而与测定介质进行热交换；第2温度传感器30，其对配管10的外壁面的被导热元件50加热或者冷却的部分的温度进行检测；以及控制部60，其进行规定的处理。并且，在导热元件50与配管10的外壁面之间配置对导热元件50与配管10之间的热通量进行直接检测的热通量传感器40，由控制部60基于由第1温度传感器20检测出的温度、由第2温度传感器30检测出的温度、由热通量传感器直接检测出的热通量对测定介质的流量进行检测。

主权项

1.一种热式流量传感器，其特征在于，具备：/n第1温度传感器(20)，其通过对配管(10)的外壁面中的规定位置的温度进行检测，而检测在上述配管内的通路(11)中流动的测定介质的温度；/n导热元件(50)，其以离开上述第1温度传感器的状态配置于上述配管的外壁面上，通过对上述配管的外壁面进行加热或者冷却而与上述测定介质进行热交换；/n第2温度传感器(30)，其对上述配管的外壁面中的被上述导热元件加热或者冷却的部分的温度进行检测；以及/n控制部(60)，其进行规定的处理，/n在上述导热元件与上述配管的外壁面之间配置有对上述导热元件与上述配管之间的热通量进行检测的热通量传感器(40)，/n上述控制部基于由上述第1温度传感器检测出的温度、由上述第2温度传感器检测出的温度、由上述热通量传感器检测出的热通量对上述测定介质的流量进行检测，/n上述热通量传感器构成为：在由热塑性树脂构成的绝缘基材(100)形成有多个沿厚度方向(Z)贯通的第1通孔(101)、第2通孔(102)，并且在上述第1通孔、第2通孔埋入有由相互不同的金属形成的第1层间连接部件(130)、第2层间连接部件(140)，并且，在上述绝缘基材的表面(100a)形成有表面图案(121)，并且在与上述表面相反的一侧的背面(100b)形成有背面图案(111)，上述第1层间连接部件、第2层间连接部件经由上述表面图案以及上述背面图案而交替地串联连接。/n