[发明专利]一种包括声学窗口层的CMUT阵列有效
| 申请号： | 201680013262.9 | 申请日： | 2016-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN107405648B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | L·J·A·M·贝克尔斯;F·J·G·哈肯斯;P·迪克森 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王英;刘炳胜 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种用于声波传输的超声阵列，其包括至少一个电容式微机械超声换能器(CMUT)单元(6)，其中，所述CMUT单元包括：基底(4)，其具有第一电极(7)；单元膜(5)，其具有第二电极(7’)，所述第二电极与第一电极和所述基底相对，在其之间具有腔体(8)，其中，所述膜被布置为在所述单元激活时进行振动；以及声学窗口层(13)，其叠加到所述单元膜并且具有外部表面以及与所述单元膜相对的内部表面；所述声学窗口层包括包含抗氧化剂分子和具有嵌入到其中的绝缘颗粒(41)的聚合物材料(47)的第一层，其中，所述聚合物材料含有氢原子和碳原子并且具有等于或小于0.95g/cm |
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| 搜索关键词： | 一种 包括 声学 窗口 cmut 阵列 | ||
【主权项】：
一种用于声波传输的超声阵列，其包括至少一个电容式微机械超声换能器(CMUT)单元(6)，其中，所述CMUT单元包括：基底(4)；第一电极(7)；单元膜(5)，其具有第二电极(7')，所述第二电极与所述第一电极和所述基底相对，在所述第二电极与所述第一电极和所述基底之间具有腔体(8)，其中，所述膜被布置为在所述单元激活时进行振动；以及声学窗口层(13)，其叠加到所述单元膜并且具有外部表面以及与所述单元膜相对的内部表面；其特征在于，所述声学窗口层(13)包括第一层，所述第一层包括抗氧化剂的分子和具有嵌入在其中的颗粒(41)的聚合物材料(47)，其中，所述聚合物材料包括氢原子和碳原子；并且所述第一层具有等于或小于0.95g/cm3的密度和等于或大于1.45MRayl的声阻抗。
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