[发明专利]在低PKA驱动的聚合物剥离过程中促进电荷络合铜保护的组合物和方法有效
| 申请号： | 201680013778.3 | 申请日： | 2016-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN107406697B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | J·C·穆尔 | 申请（专利权）人： | 默克专利有限公司 |
| 主分类号： | C09D9/00 | 分类号： | C09D9/00;G03F7/42 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 冯奕 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及在聚合物去除过程中保护金属的电荷络合化学组合物。聚合物涂层包括通过化学放大和光酸生成(PAG)手段如在环氧树脂中交联的体系。所述体系包含溶剂、电荷络合添加剂和酸，其在加工微电子部件所需的溶解和冲洗实践过程中产生敏感性金属的保护性络合物。所述组合物可以用于去除部分和完全固化的交联涂层的方法，所述部分和完全固化的交联涂层来源于化学放大或PAG‑环氧树脂可光成像涂层。 | ||
| 搜索关键词： | pka 驱动 聚合物 剥离 过程 促进 电荷 络合 保护 组合 方法 | ||
【主权项】：
组合物，其在聚合物涂层去除过程中产生与金属的电荷络合物作为保护手段，所述组合物包含：溶剂；具有pKa<3的有机酸；和表现出电荷络合特性的添加剂。
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