[发明专利]研磨剂、研磨剂用储存液和研磨方法有效
| 申请号： | 201680013897.9 | 申请日： | 2016-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN107406752B | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 花野真之;西山雅也;乡丰;樱井治彰;岩野友洋 | 申请（专利权）人： | 日立化成株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;陈彦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种树脂研磨用研磨剂，其含有磨粒、具有醚键的水溶性高分子、有机溶剂、和水，所述磨粒在研磨剂中具有正电荷，所述磨粒的平均粒径大于20nm。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨剂 储存 研磨 方法 | ||
【主权项】：
一种树脂研磨用研磨剂，其含有磨粒、具有醚键的水溶性高分子、有机溶剂、和水，所述磨粒在研磨剂中具有正电荷，所述磨粒的平均粒径大于20nm。
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