[发明专利]气体传感器元件及气体传感器

摘要

本发明提供一种低温下的灵敏度及响应性优异的气体传感器元件及气体传感器。气体传感器元件(1)具有由氧离子传导性的ZrO2系陶瓷形成的固体电解质体(2)、分别设在固体电解质体(2)上的一方的表面(21)和另一方的表面(22)上的基准气体侧电极(3)及被测气体侧电极(4)，气体传感器具备该气体传感器元件(1)。基准气体侧电极3及被测气体侧电极4形成在夹着固体电解质体(2)彼此相对置的位置上，均由贵金属或贵金属合金形成。在固体电解质体(2)与基准气体侧电极(3)之间，形成有贵金属或贵金属合金与ZrO2系陶瓷混杂而成的平均厚度800nm以下的混合层。

主权项

一种气体传感器元件(1)，其具有：固体电解质体(2)，其由氧离子传导性的ZrO2系陶瓷形成；基准气体侧电极(3)，其被设在所述固体电解质体(2)上的第1面(21)上，由贵金属或贵金属合金形成；被测气体侧电极(4)，其被设在所述固体电解质体(2)上的第2面(22)上、夹着所述固体电解质体(2)与该基准气体侧电极相对置的位置上，由贵金属或贵金属合金形成；混合层(5)，其被形成在所述固体电解质体(2)与所述基准气体侧电极(3)之间，由贵金属或贵金属合金与ZrO2系陶瓷混杂而成，平均厚度为800nm以下。