[发明专利]树脂组合物和使用该树脂组合物的图案形成方法、以及聚合物的合成方法有效
| 申请号： | 201680018918.6 | 申请日： | 2016-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN107429109B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 田村护;榎本智之 | 申请（专利权）人： | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C08G65/40 | 分类号： | C08G65/40;C09D171/10;C09D7/63;G03F7/023;G03F7/027;H01L21/312 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 李照明;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明的课题是提供含有新聚合物的树脂组合物和使用该树脂组合物的图案形成方法、以及前述聚合物的合成方法。为此，提供了一种绝缘膜形成用树脂组合物，含有具有下述式(1a)表示的结构单元以及下述式(1b)表示的结构单元的聚合物和有机溶剂。[式中，T0表示含有至少1个亚芳基的二价有机基团，所述亚芳基的至少1个氢原子被氨基取代了，T1表示含有至少1个亚芳基的二价有机基团，所述亚芳基具有至少1个下述式(2)表示的取代基，Z表示可以具有取代基的二价的、脂肪族基、芳香族基或脂环基。] |
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| 搜索关键词： | 树脂 组合 使用 图案 形成 方法 以及 聚合物 合成 | ||
【主权项】：
1.一种绝缘膜形成用树脂组合物，含有聚合物和有机溶剂，所述聚合物具有下述式(1a)表示的结构单元以及下述式(1b)表示的结构单元，![]()
式(1a)中，T0表示含有至少1个亚芳基的二价有机基团，所述亚芳基的至少1个氢原子被氨基取代了，式(1b)中，T1表示含有至少1个亚芳基的二价有机基团，所述亚芳基具有至少1个下述式(2)表示的取代基，![]()
式中，Z表示任选取代的以下基团：二价脂肪族基、二价芳香族基或二价脂环族基。
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