[发明专利]靶保持夹具、测定装置及靶保持方法有效
申请号: | 201680018961.2 | 申请日: | 2016-06-21 |
公开(公告)号: | CN107430001B | 公开(公告)日: | 2019-12-06 |
发明(设计)人: | 小谷浩辅 | 申请(专利权)人: | 三菱日立电力系统株式会社 |
主分类号: | G01C15/06 | 分类号: | G01C15/06;G01B21/00;G01B11/08;G01B11/24 |
代理公司: | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 王译晗<国际申请>=PCT/JP2016 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种靶保持夹具、测定装置及靶保持方法。靶保持夹具构成为,导向部具有对测定对象物的向端面的延伸方向及与端面正交的方向延伸的面即2个侧面进行夹持的2个导向面,且在各导向面之间配置有与测定对象物的端面接触的靶的接触部,设置成能够进行其中一个导向面接近或远离固定于支承部的另一个导向面的移动,连结部配置在导向部的各导向面之间,且仅配置在固定于支承部的另一个导向面,磁铁具有沿着测定对象物的向端面的延伸方向及与端面正交的方向延伸的面即侧面的平坦面,且能够磁性吸附于测定对象物的侧面,导向部在磁铁磁性吸附于测定对象物的侧面的状态下,从磁铁的平坦面向侧面的相反一侧的侧面侧具有所述测定对象物的厚度以上的空间,所述靶保持夹具在磁铁磁性吸附于测定对象物的侧面的状态下,能够沿着测定对象物的侧面移动。 | ||
搜索关键词: | 保持 夹具 测定 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种靶保持夹具,对具备反射从光源射出的测定光的反射机构的靶进行保持,且使所述靶与由能够用磁铁磁性吸附的材料形成的测定对象物的端面接触,所述靶保持夹具的特征在于,构成为,具备:/n支承部,在与所述测定对象物接触的状态下支承所述靶;/n导向部,配置于所述支承部的与所述测定对象物对置的一侧,且在所述测定对象物的端面的短边方向上,对所述靶与所述测定对象物接触的位置进行引导;及/n连结部,固定于所述导向部,且具有能够磁性吸附于所述测定对象物的磁铁,/n所述导向部具有对所述测定对象物的向端面的延伸方向及与端面正交的方向延伸的面即2个侧面进行夹持的2个导向面,在各所述导向面之间配置有与所述测定对象物的端面接触的所述靶的接触部,设置成能够进行其中一个所述导向面接近或远离固定于所述支承部的另一个所述导向面的移动,/n所述连结部配置在所述导向部的各所述导向面之间,且仅配置在固定于所述支承部的另一个所述导向面,/n所述磁铁具有沿着所述测定对象物的向端面的延伸方向及与端面正交的方向延伸的面即侧面的平坦面,且能够磁性吸附于所述测定对象物的侧面,/n所述导向部在所述磁铁磁性吸附于所述测定对象物的侧面的状态下,从所述磁铁的所述平坦面向所述侧面的相反一侧的侧面侧具有所述测定对象物的厚度以上的空间,/n所述靶保持夹具在所述磁铁磁性吸附于所述测定对象物的侧面的状态下,能够沿着所述测定对象物的侧面移动。/n
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