[发明专利]层叠基板的测定方法、层叠基板及测定装置

摘要

本发明提供一种测定方法，所述方法对依次具有基底基板、吸收层及被测层的层叠基板进行测定，被测层具有单一或多层被测单层，所述方法具有下述步骤：通过从被测层所处的这侧照射包含波长短于界限波长的光的入射光、并测定反射光，从而取得界限波长以下的波长中的相互独立的2n(n为被测层中包含的被测单层的层数，为1以上的整数)个以上的反射光关联值的步骤，以及，使用2n个以上的反射光关联值，针对被测层中包含的各被测单层，计算与被测单层有关的值的步骤；作为界限波长，使用将吸收层的消光系数k以波长λ(单位为nm)的函数k(λ)的形式表示时的一次微分dk(λ)/dλ的绝对值成为消光微分界限值以下的波长范围内的最大波长。

主权项

层叠基板的测定方法，所述层叠基板具有基底基板、被测层、和位于所述基底基板与所述被测层之间的吸收层，所述被测层具有单层的被测单层或层叠多层所述被测单层而成的被测叠层，所述测定方法具有下述步骤：向所述被测层所处的这侧的所述层叠基板的表面，照射包含波长短于界限波长的光的入射光，对所述入射光的从所述层叠基板反射的反射光进行测定，由此取得所述界限波长以下的波长中的相互独立的2n(其中，n为所述被测层中包含的所述被测单层的层数，为1以上的整数)个以上的反射光关联值的步骤，和使用2n个以上的所述反射光关联值，针对所述被测层中包含的各被测单层，计算与所述被测单层有关的值的步骤；作为所述界限波长，使用将所述吸收层的消光系数k以波长λ(单位为nm)的函数k(λ)的形式表示时的一次微分dk(λ)/dλ的绝对值成为消光微分界限值以下的波长范围内的最大波长。