[发明专利]硬质皮膜

摘要

本发明提供一种硬质皮膜，其是形成于基材表面的硬质皮膜，该硬质皮膜由包含元素X、Al和Cr的氮化物或碳氮化物构成，所述元素X为选自原子序号大于Cr的第4族元素、第5族元素及第6族元素中的至少1种，X元素的浓度最高点重复地存在于与基材表面垂直的方向，并且，在与垂直方向相邻的X元素的浓度最高点之间存在1个以上X元素的浓度最低点，组成在垂直方向连续地变化。

主权项

一种硬质皮膜，其特征在于，其是形成于基材表面的硬质皮膜，所述硬质皮膜由包含元素X、Al和Cr的氮化物或碳氮化物构成，所述元素X为选自原子序号比Cr大的第4族元素、第5族元素及第6族元素中的至少1种，使所述元素X的浓度达到最高的下述组成的X浓度最高点重复地存在于相对于所述基材表面为垂直的方向，并且在所述垂直方向上相邻的所述X浓度最高点之间存在1个以上的使所述元素X的浓度达到最低的下述组成的X浓度最低点，组成在所述垂直方向连续地变化，X浓度最高点是：组成式为AlmCr(1－m－n)Xn(NαC(1－α))，且以原子比计满足0.25≤m≤0.70、0.05≤n≤0.45、1－m－n＞0、及0.50≤α≤1的点，X浓度最低点是：组成式为AlxCr(1－x－y)Xy(NβC(1－β))，且以原子比计满足0.40≤x≤0.80、0.01≤y≤0.35、0.50≤β≤1、1－x－y＞0、及n/y＞1.0的点。