[发明专利]离子束用的电荷转换膜有效
| 申请号： | 201680021888.4 | 申请日： | 2016-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN109874344B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 村上睦明;立花正满;多多见笃 | 申请（专利权）人： | 株式会社钟化 |
| 主分类号： | G21K1/14 | 分类号： | G21K1/14;G21K1/00;H05H7/08;H05H13/04 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明目的在于提供离子束用的电荷转换膜，所述离子束用的电荷转换膜在大强度射束使用下也不易受到损伤、放射性活化，具有高耐久性，容易控制小于10μm的膜厚。本发明为一种离子束用的电荷转换膜，其为碳成分为96原子％以上、25℃下的膜面方向的热导率为800W/mK以上的离子束用的电荷转换膜的单层体或前述离子束用的电荷转换膜的层叠体，其厚度小于10μm且为100nm以上。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 电荷 转换 | ||
【主权项】：
1.一种离子束用的电荷转换膜，其特征在于，其为碳成分为96原子％以上、25℃下的膜面方向的热导率为800W/mK以上的石墨质膜的单层体或所述石墨质膜的层叠体，其厚度小于10μm且为100nm以上。
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