[发明专利]用于离子化气体的X射线源有效
申请号: | 201680022670.0 | 申请日: | 2016-02-24 |
公开(公告)号: | CN107533941B | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
发明(设计)人: | T·泽巴尔德 | 申请(专利权)人: | 艾斯森技术有限责任公司 |
主分类号: | H01J35/06 | 分类号: | H01J35/06;H01J35/18;H05H1/48 |
代理公司: | 44240 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) | 代理人: | 金辉 |
地址: | 德国格*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及用于离子化气体的X射线源,其中在真空腔室中具有场发射尖端阵列。利用本发明,将创造一种用于离子化气体的设备,其将杆状高压离子发生器的简单的、紧凑的且节约成本的设计和布置与低能量X射线离子发生器的优势相结合。这利用真空区域(3b)内的场发射尖端阵列(1)进行布置,所述真空区域由罩(3)和支撑板(4)的一部分包封,其中所述场发射尖端阵列(4)相对于载板(4)电绝缘布置并接线作为连接至高压源的阴极,并且其中对于X射线辐射是透明的透射窗(2)布置在居中于所述场发射尖端阵列(1)上方的所述罩(3)中,并且其中所述罩(3)接线作为阳极。 | ||
搜索关键词: | 用于 离子化 气体 射线 | ||
【主权项】:
1.一种用于离子化气体的X射线源,其中在真空腔室中具有场发射尖端阵列,其特征在于具有场发射尖端(19)的场发射尖端阵列(1)布置在真空区域(3b)内,所述真空区域(3b)由金属罩(3)和金属载板(4)的一部分包封,其中绝缘主体(5)以真空密封方式与金属载板(4)齐平地引入金属载板(4),其中所述场发射尖端阵列(1)相对于所述载板(4)电绝缘布置在电极(6)上、金属载板(4)内的绝缘主体(5)上或上方,所述电极(6)穿透通过绝缘主体(5),所述场发射尖端阵列(1)与电极(6)电连接并且接线作为连接至高压源的阴极,并且其中对于X射线辐射是透明的透射窗(2)布置在居中于所述场发射尖端阵列(1)上方的所述罩(3)中,并且其中所述罩(3)接线作为阳极。/n
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