[发明专利]激光装置和窄带化光学系统有效
申请号: | 201680022711.6 | 申请日: | 2016-04-01 |
公开(公告)号: | CN107534266B | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 宫本浩孝 | 申请(专利权)人: | 极光先进雷射株式会社 |
主分类号: | H01S3/1055 | 分类号: | H01S3/1055 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;蔡丽娜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 激光装置具有:腔室,其内部配置有一对放电电极;光栅,其配置在腔室之外;第1扩束光学系统,其被配置在腔室与光栅之间,以使从腔室输出的光束至少在第1方向上扩展,该第1方向与一对放电电极之间的放电方向垂直;以及第2扩束光学系统,其包含配置在腔室与光栅之间的多个棱镜,以使从腔室输出的光束至少在第2方向上扩展,该第2方向与一对放电电极之间的放电方向平行。 | ||
搜索关键词: | 激光 装置 窄带 光学系统 | ||
【主权项】:
一种激光装置,其具有:腔室,其内部配置有一对放电电极;光栅,其被配置在所述腔室之外;第1扩束光学系统,其被配置在所述腔室与所述光栅之间,以使从所述腔室输出的光束至少在第1方向上扩展,所述第1方向与所述一对放电电极之间的放电方向垂直;以及第2扩束光学系统,其包含配置在所述腔室与所述光栅之间的多个棱镜,以使从所述腔室输出的光束至少在第2方向上扩展,所述第2方向与所述一对放电电极之间的放电方向平行。
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