[发明专利]对准器结构和对准方法

摘要

本发明的目的是提供一种对准器结构，通过提供用于在基板(S)和掩模(M)垂直的状态下使基板(S)和掩模(M)固定且对准的对准结构而能够在基板S和掩模M垂直的状态下良好处理基板；以及一种对准方法。本发明的对准器结构包括掩模夹紧单元(100)，被设置在工艺腔室(10)中以便夹紧掩模(M)；基板夹紧单元(200)，用于夹紧基板载体(320)，基板(S)通过静电卡盘吸住并固定到基板载体上；对准单元(400)，相对于掩模(M)而相对移动基板载体(320)，以便使由基板夹紧单元(200)夹紧的基板(S)和由掩模夹紧单元(110)夹紧的掩模M对准；以及紧密接触驱动单元，用于允许通过对准单元(400)对准的基板(S)和掩模(M)彼此紧密接触。基板可在基板(S)和掩模(M)垂直的状态下良好处理。

主权项

一种用于在基板S和掩模M分别被竖直传送至工艺腔室10并且所述基板S和所述掩模M被传送并彼此粘附后处理所述基板S的基板处理设备的对准器结构，所述对准器结构包括：掩模夹紧部分100，所述掩模夹紧部分被安装在所述工艺腔室10中以夹紧所述掩模M；基板夹紧部分200，所述基板夹紧部分夹紧基板载体320，所述基板S通过静电卡盘吸住并固定在所述基板载体上；对准部分400，所述对准部分相对于所述掩模M而相对移动所述基板载体320，以使得由所述基板夹紧部分200夹紧的所述基板S和由所述掩模夹紧部分100夹紧的所述掩模M彼此对准；以及粘附驱动部分，所述粘附驱动部分使通过所述对准部分400对准的所述基板S和所述掩模M彼此粘附。