[发明专利]用于将衬底静电地卡紧到移动载体的装置和方法在审
| 申请号： | 201680023460.3 | 申请日： | 2016-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN107534002A | 公开（公告）日： | 2018-01-02 |
| 发明（设计）人： | D·R·鲍顿;J·G·法根;V·E·麦伯特 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 姬利永,钱慰民 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种静电卡紧装置包括可移动构件，被安排用于相对于轴向轴线进行移动；至少一个静电卡盘，耦合至所述可移动构件；以及静止构件。至少一个移动绝缘电极耦合至所述可移动构件，并且至少一个静止绝缘电极在与所述至少一个移动绝缘电极相对应的轴向位置处耦合至所述静止构件。滑环触头将来自所述至少一个静止绝缘电极的电能耦合至所述至少一个移动绝缘电极。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 衬底 静电 卡紧到 移动 载体 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种静电卡紧装置，包括：可移动构件，被安排用于相对于轴向轴线进行移动；至少一个静电卡盘，包括被封装在电介质材料中的至少一个电极，所述至少一个静电卡盘耦合至所述可移动构件并且具有接近所述可移动构件的外表面定位的面；至少一个第一绝缘电极，所述至少一个第一绝缘电极耦合至所述可移动构件和所述至少一个静电卡盘；静止构件；至少一个第二绝缘电极，在与所述至少一个第一绝缘电极相对应的轴向位置处耦合至所述静止构件；以及滑环触头，用于将来自所述至少一个第二绝缘电极的电能耦合至所述至少一个第一绝缘电极。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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