[发明专利]三维测量装置有效
| 申请号： | 201680024062.3 | 申请日： | 2016-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN107532889B | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 今枝昭弘;大山刚;坂井田宪彦 | 申请（专利权）人： | CKD株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 11258 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 金美莲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供三维测量装置，能够在利用相移法进行三维测量时保持所需的测量精度的同时提高测量速度。基板检查装置(1)包括：从斜上方向印刷基板(2)的表面照射预定的光图案的照明装置(4)；拍摄印刷基板(2)上的照射了光图案的部分的相机(5)；以及实施基板检查装置(1)内的各种控制、图像处理、运算处理的控制装置(6)。控制装置(6)对于包含满足预定的判断条件的膏状焊料的检查区域，通过四次拍摄方式获取图像数据来执行高精度的三维测量，对于除此之外的检查区域，通过两次拍摄方式获取图像数据来短时间内执行三维测量。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种三维测量装置，其特征在于，包括：/n照射单元，所述照射单元能够向被测量物照射具有条纹状的光强度分布的光图案；/n拍摄单元，所述拍摄单元能够拍摄被照射所述光图案的所述被测量物上的预定的测量区域；/n图像获取单元，所述图像获取单元构成为控制所述照射单元和所述拍摄单元，使所述光图案的相位变化成多组，能够获取在该各光图案之下分别拍摄的所述测量区域涉及的多组图像，并且能够根据所述测量区域将对所述测量区域应该获取的图像数量进行变更；以及/n图像处理单元，所述图像处理单元能够根据由所述图像获取单元获取的图像通过相移法对所述测量区域内的测量对象执行三维测量，/n所述图像获取单元/n在所述测量区域内包含满足预定的判断条件的所述测量对象的情况下，获取在作为第一预定数量组的四组或三组相位下照射光图案来拍摄的四组或三组图像，/n在所述测量区域内不包含满足所述判断条件的所述测量对象的情况下，获取在作为比所述第一预定数量少的第二预定数量组的两组相位下照射光图案来拍摄的两组图像，/n并且，所述图像处理单元利用通过预定的拍摄条件决定的增益和偏移的关系以及根据所述图像上的各像素的亮度值决定的该像素涉及的增益或偏移的值，由此能够根据两组图像通过相移法执行三维测量。/n
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